光柵式線性測微計(jì)工作原理及輸出信號(hào)類型

光柵式線性測微計(jì)主要使用傳動(dòng)型光電線性編碼器，如下圖所示。在這個(gè)類型中，光源 (LED) 和檢測器要素 (發(fā)光二 管) 彼此相對(duì)，主尺和指示尺 (20μm 間距) 在它們之間。

當(dāng)光柵尺相對(duì)檢測器移動(dòng)時(shí)，透過指示尺窗口的光線亮度連續(xù)變化。同時(shí)，輸出兩個(gè)同步的正弦波信號(hào)形成 90 度相位差。這些信號(hào)被放大和分離 (使用插入的附加波形)，并以0.1μm、0.5μm、1μm 和 5μm 的正弦波信號(hào)輸出。

光柵式線性測微計(jì)處理內(nèi)部檢測到的信號(hào)和輸出正弦波信號(hào)如下圖所示。這些 90 度相位差的正弦波操作信號(hào)相當(dāng)于 RS-422A 信號(hào)，測頭可以獨(dú)立使用。但是，某些型號(hào) (LGD 和 LGS) 不能輸出正弦波信號(hào)而是輸出 Digimatic 代碼(SPC)，用以鑒定測量位置。